Перечень измеряемых газов
| Детектируемый газ |
Диапазон |
Тип датчика |
| Аммиак NH3 |
0-75 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Пентахлорид сурьмы SbCl5* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Пятифтористый мышьяк AsF5* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Арсин AsН3 |
0-1 ppm 0-0,2 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Трихлорид бора BCl3* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Трифторид бора BF3* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Бром Br2* |
0-1 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Окись углерода CO |
0-75 ppm 0-150 ppm 0-300 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Хлор Cl2 |
0-1,5 ppm 0-3 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Трехфтористый хлор ClF3* |
0-0,6 ppm 0-1 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Горючие газы |
0-100% LEL |
GD-A8 |
| Диборан B2H6* |
0-0,3 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Дихлорсилан SiH2Cl2* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Дисилан Si2H6* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Фтор F2* |
0-3 ppm 0-5 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Водород H2 |
0-2000 ppm |
GD-V77D |
| Бромоводород HBr* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Хлористый водород HCl |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Фтористый водород HF* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Иодоводород HI* |
0-5 ppm |
GD-K77D |
| Сероводород H2S |
0-1 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Иод I2* |
0-1 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Изофталевая кислота CH3CHOHCH3 (IPA)* |
0-2000 ppm |
GD-A8V |
| Фтористый молибден MOF4* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Окись азота NO |
0-100 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Двуокись азота NO2 |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Трехфтористый азот NF3 |
0-30 ppm |
GD-K8DG, GD-K77DG |
| Тетраокисел азота N2O4* |
0-15 ppm |
GD-K77D |
| Кислород O2 |
0-25 об.% |
GD-F77D |
| Озон O3* |
0-0,6 ppm 0-1 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Фосфин PH3 |
0-1 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Оксихлорид фосфора POCl3* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Пентафторид фосфора PF5* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Трихлорид фосфора PCl3* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Трифторид фосфора PF3* |
0-10 ppm |
GD-K77D |
| Силан SiH4 |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Тетрахлорид кремния SiCl4* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Тетрафторид кремния SiF4* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Двуокись серы SO2 |
0-30 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Четырехфтористая сера SF4* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Фтористый тантал TaF5* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Тетраэтил ортосиликата Si(OC2H5)4 (TEOS) |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Четыреххлористый цинк ZnCl4* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Фтористый титан TiF4* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Четыреххлористый титан TiCl4* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Трихлормоносилан SiHCl3* |
0-15 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| Триметоксил бора B(OCH3)3 (TMB)* |
0-500 ppm |
GD-S8DG, GD-S77DG |
| Триметил фосфата P(OCH3)3 (TMP)* |
0-100 ppm |
GD-S8DG, GD-S77DG |
| Шестифтористый фольфрам WF6* |
0-9 ppm |
GD-K77D, SC-90 |
| 1,1,1 - трихлорэтан С2H3Cl3* |
0-2000 ppm |
GD-A8V |
